| 用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器 |
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| 引用本文： | 李鹏,李昕欣,王跃林.用于化学气体检测的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器[J].传感技术学报,2007,20(10):2174-2177. |
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| 作者姓名： | 李鹏 李昕欣 王跃林 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳科学技术研究院,上海,200030;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;上海交通大学,微纳科学技术研究院,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 文中演示了一种高分辨率的压阻检测式二氧化硅微悬臂梁传感器及其制作方法,并利用该传感器实现了对化学气体的检测.通过传感器在线检测以及其它表征手段,验证了该传感器通过单分子自组装方法获得敏感层的可行性.经过Cu2 /巯基十一酸单分子自组装层修饰的微悬臂梁传感器可以对甲基膦酸二甲酯(DMMP)气体进行快速响应,最小检测浓度可达数ppb(×10-9).
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| 关 键 词： | 二氧化硅 微悬臂梁 压阻 传感器 |
| 文章编号： | 1004-1699(2007)10-2174-04 |
| 修稿时间： | 2006年10月23 |
Piezoresistive silicon dioxide micorcantilever sensor for chemical gas detection |
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| Li Peng,Li Xinxin,Wang Yuelin.Piezoresistive silicon dioxide micorcantilever sensor for chemical gas detection[J].Journal of Transduction Technology,2007,20(10):2174-2177. |
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| Authors: | Li Peng Li Xinxin Wang Yuelin |
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| Affiliation: | 1 Research Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiao Tong University2 State Key Laboratory of Transducer Technology, Shanghai Institute of Microsystem and Information Technology, Chinese Academy of Sciences |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Silicon dioxide microcantilever piezoresistive sensor |
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