| 聚合物光栅光波导器件的微复制技术 |
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| 引用本文： | 刘月明,张少君.聚合物光栅光波导器件的微复制技术[J].传感技术学报,2010,23(10):1408-1411. |
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| 作者姓名： | 刘月明 张少君 |
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| 作者单位： | 中国计量学院光电学院,杭州,310018;中国计量学院理学院,杭州,310018 |
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| 基金项目： | 浙江省自然科学基金项目资助 |
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| 摘 要： | 采用纳米压印微复制技术方法,研制了一种新型的聚合物柔性光栅光波导敏感器件,该器件可用于介入式医用导管的微弯挠曲监测或类似场合的微变形监测.重点阐述了聚合物柔性光栅光波导器件的微复制模具和器件微复制的工艺方法,并对制备工艺技术中的关键技术问题进行了讨论,讨论了测试光纤耦合一体化光栅波导器件的工艺方法.最后利用硅微模具和紫外固化介质材料,成功制备出了截面尺寸为4 μm×20 μm、光栅周期为0.75 μm的聚合物柔性光栅光波导器件.
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| 关 键 词： | 聚合物 光栅光波导 微复制工艺 微挠曲监测 |
Micro-replication techniques of polymer optical grating waveguides |
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| LIU Yueming,ZHANG Shaojun.Micro-replication techniques of polymer optical grating waveguides[J].Journal of Transduction Technology,2010,23(10):1408-1411. |
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| Authors: | LIU Yueming ZHANG Shaojun |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Polymer polymer grating waveguide micro replication process micro deflection measurement |
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