| 电容式加速度计的数字化处理电路及其与模拟电路的比较 |
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| 引用本文： | 林伟俊,胡世昌,郑旭东,王昊,金仲和.电容式加速度计的数字化处理电路及其与模拟电路的比较[J].传感技术学报,2009,22(11). |
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| 作者姓名： | 林伟俊 胡世昌 郑旭东 王昊 金仲和 |
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| 作者单位： | 浙江大学信息与电子工程系,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)资 |
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| 摘 要： | 介绍了对一种电容式MEMS加速度计处理电路的数字化工作,并对数字式加速度计系统的各个组成模块进行了分析,并与模拟处理电路的相应模块进行比较,给出了制约数字和模拟加速度计性能的因素.实验测试结果表明,数字式加速度计的零偏稳定性达到了0.21 mgn,相对模拟加速度计的零偏稳定性(1.02 mgn)提高了约5倍,噪声降低了3/5,数字式加速度计系统的性能有了很大的改进.这是由于数字系统采用了先进的解调算法,使得载波的信噪比有所提高,相位噪声有所降低.
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 加速度计 直接数字频率合成 现场可编程门阵列 相位噪声 |
A Comparison between Analog and Digital Capacitive Accelerometer |
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| LIN Weijun,HU Shichang,ZHENG Xudong,WANG Hao,JIN Zhonghe.A Comparison between Analog and Digital Capacitive Accelerometer[J].Journal of Transduction Technology,2009,22(11). |
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| Authors: | LIN Weijun HU Shichang ZHENG Xudong WANG Hao JIN Zhonghe |
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| Affiliation: | LIN Weijun,HU Shichang,ZHENG Xudong,WANG Hao,JIN Zhonghe Department of Information Science & Electronic Engineering,Zhejiang University,Hangzhou 310027,China |
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| Abstract: | A digital processing system based on a capacitive MEMS accelerometer is introduced.Each part of the digital processing system is carefully analyzed and makes a comparison with the analog processing system.Restricting factors of both analog and digital accelerometer systems are given.The test result of the digital accelerometer system turns out that the bias stability is 0.21 mgn,five times better than the analog accelerometer system(1.02 mgn).The noise of the digital accelerometer system is reduced to two f... |
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| Keywords: | MEMS accelerometer DDS FPGA phase noise |
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