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| 石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究?? | |
| 引用本文： | 郑德忠,王晓维,史锦珊,翟妹红.石英晶体薄膜厚度差动测量技术的研究??[J].传感技术学报,1998,11(3):49-52. |
| 作者姓名： | 郑德忠 王晓维 史锦珊 翟妹红 |
| 作者单位： | 燕山大学!河北秦皇岛市066004 |
| 摘 要： | 本文介绍一种石英晶体膜测厚的差动工作方式。它的厚度测量精度为１ｎｍ，分辨率为纳米级，其温度稳定性在０－＋４００℃范围内达到５０Ｈｚ。这种差动测量技术不仅可在真空镀膜工艺中实现在线测量，而且在纳米技术及超精细加工中具有广阔应用前景。 |
| 关 键 词： | 石英晶体 薄膜 厚度测量 |
Differential Measurement of Thin Film Thickness Using Quartz Crystal |
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| ZHeng Dezhong Wang Xiaowei Shi Jinshan Zhai Zhuhong.Differential Measurement of Thin Film Thickness Using Quartz Crystal[J].Journal of Transduction Technology,1998,11(3):49-52. | |
| Authors: | ZHeng Dezhong Wang Xiaowei Shi Jinshan Zhai Zhuhong |
| Affiliation: | Yanshan University |
| Abstract: | |
| Keywords: | quartz crystal differential thin film thickness measurement |
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