| 半导体光刻技术在生物芯片制作中的应用 |
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| 引用本文： | 胡泽军,张生才,姚素英,庞科,李育刚,徐利.半导体光刻技术在生物芯片制作中的应用[J].传感技术学报,2003,16(1):99-102. |
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| 作者姓名： | 胡泽军 张生才 姚素英 庞科 李育刚 徐利 |
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| 作者单位： | 天津大学电子信息工程学院,天津,300072 |
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| 摘 要： | 以生物芯片及其制作过程来重点介绍采用半导体光刻技术制作基因芯片，通过与传统光引导合成法的比较，表明了这种方法在制作高密度寡聚核苷酸上的优越性，其探针特征尺寸可望达到1μm ，并阐明了其原因。
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| 关 键 词： | 生物芯片 半导体光刻 基因芯片 寡聚核苷酸阵列 |
| 文章编号： | 1004-1699(2003)01-0099-04 |
Appl ication of Sem iconductor Photol ithography in
Biochip Fabr ication |
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| HU Zejun\ ZHANG Shengcai\ YAO Suying\ PANG Ke\ LI Yugang\ XU Li.Appl ication of Sem iconductor Photol ithography in
Biochip Fabr ication[J].Journal of Transduction Technology,2003,16(1):99-102. |
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| Authors: | HU Zejun\ ZHANG Shengcai\ YAO Suying\ PANG Ke\ LI Yugang\ XU Li |
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| Affiliation: | S chool of electronics and inf orm ation eng ineering , T ianj in U niv ersity , T ianj in, 300072 P. R. Ch i |
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| Abstract: | Th is paper in t roduces the p rincip le and fab ricat ion of b ioch ip , and lays emphasis on the app li2
cat ion of sem iconducto r pho to lithography in DNA ch ip s. The advan tage of th ismethod can be seen by con2
t rast w ith the t radit ional in situ ligh t2directed syn thesis and it s p robe featu re size is app roach ing 1 Lm. The
exp lanat ion is given at last. |
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| Keywords: | biochip semiconductor photolithography gene chips oligonucleotide array |
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