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| 碱土金属氧化物──SnO_2薄膜乙醇敏感元件的研究 | |
| 引用本文： | 王晓俊,欧阳文,傅敏恭.碱土金属氧化物──SnO_2薄膜乙醇敏感元件的研究[J].传感技术学报,2000(2). |
| 作者姓名： | 王晓俊 欧阳文 傅敏恭 |
| 作者单位： | 南昌大学高新技术研究所!南昌330047 |
| 摘 要： | 采用真空镀膜、溶液浸泡、灼烧热分解方法制备了掺系列碱土金属氧化物的SnO2敏感元件．在对乙醇等七种气体的测试结果表明，掺碱土金属氧化物的SnO2元件普遍提高了对乙醇的灵敏度和选择性，而对其余气体同未掺杂元件相似，几乎不敏感．实验结果还表明，碱土金属氧化物对元件的增敏作用按MgO、CaO、SrO、BaO的顺序依次减弱．在敏感机理方面，提出了流过元件电流的公式，对元件的敏感机理作了初步探讨． |
| 关 键 词： | 敏感元件 二氧化锡 薄膜 |
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