| 溶胶-凝胶法制备V2O5 薄膜的气敏特性研究?? |
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| 引用本文： | 童茂松,戴国瑞,薛辉,何秀丽,吴元大,高鼎三.溶胶-凝胶法制备V2O5 薄膜的气敏特性研究??[J].传感技术学报,2000,13(3):225-229. |
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| 作者姓名： | 童茂松 戴国瑞 薛辉 何秀丽 吴元大 高鼎三 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子工程系、集成光电子国家重点联合实验室,长春130023 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;69776038; |
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| 摘 要： | 西方研究了用无机溶胶凝胶法制备的Ｖ２Ｏ５薄膜的ＸＲＤ结果及其气敏特性。凝胶在４００℃下烧结１２ｈ后完全形成了Ｖ２Ｏ５晶体。掺３ｗｔ％Ｐｄ＋１ｗｔ％Ａｕ的Ｖ２Ｏ５薄膜在较大范围内对乙醇具有较高的灵敏度。加热电压为５．５Ｖ时灵敏度达到最大值。该气敏薄膜具有较好的选择性，ＮＨ３、Ｈ２、ＣＯ、ＣＨ３ＣＯＣＨ３等气体不干扰元件的测量。元件的响应时间为１５ｓ，恢复时间为５ｓ。
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| 关 键 词： | 溶胶－凝胶法 V2O5薄膜 气体传感器 气敏特性 |
| 修稿时间： | 1999年7月8日 |
Gas Sensing Properties of V2Os Thin Films Fabricated by Sol-Gel Technology |
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| Tong Maosong\ Dai Guorui\ Xue Hui\ \ He Xiuli\ Wu Yuanda\ Gao Dingsan.Gas Sensing Properties of V2Os Thin Films Fabricated by Sol-Gel Technology[J].Journal of Transduction Technology,2000,13(3):225-229. |
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| Authors: | Tong Maosong\ Dai Guorui\ Xue Hui\ \ He Xiuli\ Wu Yuanda\ Gao Dingsan |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Sol-Gel technology V_2O_5 thin films gas sensor |
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