| 基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究 |
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| 引用本文： | 文常保,王蒙,钟晨昊,宿建斌,巨永锋.基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿研究[J].传感技术学报,2019,32(10). |
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| 作者姓名： | 文常保 王蒙 钟晨昊 宿建斌 巨永锋 |
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| 作者单位： | 长安大学电子与控制工程学院 微纳电子研究所,西安,710064;长安大学电子与控制工程学院 微纳电子研究所,西安,710064;长安大学电子与控制工程学院 微纳电子研究所,西安,710064;长安大学电子与控制工程学院 微纳电子研究所,西安,710064;长安大学电子与控制工程学院 微纳电子研究所,西安,710064 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(60806043)、陕西省自然科学基础研究计划项目(2018JQ6056、2018XNCG-G-01)、中央高校教育教学改革专项经费项目(30010318705、3001042832、300103002076) |
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| 摘 要： | 针对硅基压阻式压力传感器易受环境温度影响的特点，提出了一种基于DE-SVM的硅基压阻式压力传感器温度补偿方案。 该方案主要由训练数据预处理模块、DE参数寻优模块、SVM训练模块、数据采集模块、测量数据预处理模块及SVM校正等模块组成，以SVM算法的非线性回归功能为核心，通过DE算法优化SVM参数，经训练后得到温度校正模块，模块接收 测量数据后输出校正后的压力值。实验表明，对单个传感器压力值使用DE-SVM模型进行校正，最大误差和均方误差分别下降了 ９３.８７％和 ９９.８９％，在七块硅基压阻式压力传感器构成的多传感器情况下，最大误差和均方误差分别下降了 ９３.１７％和 ９９.２７％。平均相对误差由 １４.０６％下降至 １.２０％，最后选取训练数据不包含的温度点使用所建立的模型进行测试，模型仍能够较好地进行温度补偿。
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| 关 键 词： | 检测技术 温度补偿 DE-SVM 硅基材料 压阻式压力传感器 |
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