| 基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统 |
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| 引用本文： | 李巧萍,李伟华. 基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统[J]. 传感技术学报, 2006, 19(5): 1535-1537,1541 |
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| 作者姓名： | 李巧萍 李伟华 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096;东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519) |
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| 摘 要： | 建立了一套基于数据采集的MEMS薄膜材料参数在线测试系统.该系统包括测试图形,测试信号处理电路及外围附件和专用软件,能自动完成薄膜材料参数的在线测试.测试方法和测试设备简单,能用于工艺线上的在线测试.
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| 关 键 词： | MEMS 数据采集 材料参数 在线测试 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1535-03 |
| 修稿时间： | 2006-07-01 |
Measurement System for in-situ extracting material parameters of MEMS Thin Film Based on Data Acquisition |
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| Li Qiaoping,Li Weihua. Measurement System for in-situ extracting material parameters of MEMS Thin Film Based on Data Acquisition[J]. Journal of Transduction Technology, 2006, 19(5): 1535-1537,1541 |
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| Authors: | Li Qiaoping Li Weihua |
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| Affiliation: | Key Lab of MEMS of Education Ministry, Southeast University, Nanjing, 210096 |
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| Abstract: | A measurement system for in-situ extracting material parameters of MEMS thin film was proposed based on Data Acquisition. The system consisted of test structures, managing circuits of test single and periphery accessory, special software. It can automatically perform the on-line material parameters testing for the thin film. The test methods and equipments were simple and can be used to in-situ measurement on process. |
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| Keywords: | MEMS data acquisition material parameter in-situ measurement |
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