| MEMS固体微推进器中Cr薄膜点火电阻的研究 |
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| 引用本文： | 徐超,李兆泽,万红,吴学忠.MEMS固体微推进器中Cr薄膜点火电阻的研究[J].传感技术学报,2006,19(5):1411-1414,1418. |
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| 作者姓名： | 徐超 李兆泽 万红 吴学忠 |
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| 作者单位： | 国防科技大学航天与材料工程学院,长沙,410073;国防科技大学机电工程与自动化学院,长沙,410073 |
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| 摘 要： | 点火电路是MEMS固体化学微推进器中最重要的组成部分,其点火电压的大小及点火可靠性则主要取决于点火电阻.国内外均采用多晶硅(polysilicon)或贵金属铂(Pt)作为点火电阻材料,所制备出来的点火电阻的阻值都比较大,需要的点火电压较高(40 V以上),而且点火可靠性不高,难以满足固体微推进器的使用要求.本文首次采用金属铬(Cr)作为点火电阻材料,设计了具有高可靠性的并联点火电阻图形,通过磁控溅射镀膜、光刻以及Cr的湿法腐蚀工艺制备出了Cr薄膜点火电阻,并在20伏左右的低电压下成功地实现了常规火药黑索金的点火,为低点火电压、低成本、高可靠性的点火电路的制备提供了一条有效的技术途径.
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| 关 键 词： | MEMS 微推进器 点火电阻 铬薄膜 点火电压 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-1411-04 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Research of the Cr Membrane Igniting Resistance in MEMS Solid Propellant Micro-Thruster |
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| Xu Chao,Li ZhaoZe,Wan Hong,Wu XueZhong.Research of the Cr Membrane Igniting Resistance in MEMS Solid Propellant Micro-Thruster[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1411-1414,1418. |
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| Authors: | Xu Chao Li ZhaoZe Wan Hong Wu XueZhong |
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| Affiliation: | 1. School of Aerospace and Material Engineering, National University of Defense Technology, Changsha, 410073)
(2. School of Mechanical Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha, 410073 |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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