| 金属薄膜加热器的研究 |
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| 引用本文： | 闫卫平,朱剑波,马灵芝,杜立群.金属薄膜加热器的研究[J].传感技术学报,2004,17(4):615-618. |
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| 作者姓名： | 闫卫平 朱剑波 马灵芝 杜立群 |
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| 作者单位： | 1. 大连理工大学电子工程系,大连,116024
2. 大连理工大学微系统技术研究中心,大连,116024 |
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| 摘 要： | 采用射频溅射方法制备了Cr和Ni-Cr(Ni:80%,Cr:20%)金属薄膜,探讨了热处理温度和时间对Cr薄膜电阻温度系数和电阻率的影响.在一定直流电压条件下,Ni-Cr和Cr薄膜微型加热器的加热温度可达到100℃,且升温速率皆大于0.50C/s.通过测量微加热器的电阻温度曲线,表明所制备的金属薄膜式微型加热器具有较好的稳定性和重复性,能够满足PCR生物芯片和硅基热分布式微流量传感器的要求.
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| 关 键 词： | 微型加热器 Cr和Ni-Cr薄膜 PCR生物芯片 微流量传感器 |
| 文章编号： | 1004-1699(2004)04-0615-04 |
| 修稿时间： | 2004年7月4日 |
Research of Metal Membrane Heater |
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| YAN Weiping,ZHU Jianbo,MA Lingzhi,DU Liqun.Research of Metal Membrane Heater[J].Journal of Transduction Technology,2004,17(4):615-618. |
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| Authors: | YAN Weiping ZHU Jianbo MA Lingzhi DU Liqun |
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| Affiliation: | YAN Wei ping 1,ZHU Jian bo 1,MA Ling zhi 1,DU Li qun 21. Department of Electronic Engineering,Dalian University of Technology,Dalian 116024,China,2. Research Center for Micro System Technology,Dalian University of Technology,Dalian 116024,China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | TCR |
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