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用软光刻技术实现微细结构
引用本文:刘伟庭,蔡强,郭希山,陈裕泉,王立人.用软光刻技术实现微细结构[J].传感技术学报,2002,15(2):136-139.
作者姓名:刘伟庭  蔡强  郭希山  陈裕泉  王立人
作者单位:浙江大学生物传感器国家专业实验室,杭州,310027
摘    要:本文介绍了一种新的微结构制造技术———软光刻技术 ,它提供了一种方便、有效的和低成本的微米、纳米尺寸微结构的制造方法 .本文着重涉及了软光刻的几项关键技术 :弹性印模、再铸模等 ,阐述了模板的制备方法和原理 ,并应用这种模板实现微阀和微毛细管

关 键 词:软光刻  再铸模  微毛细管  微阀  PDMS
文章编号:1004-1699(2002)02-0136-04
修稿时间:2001年12月6日

Three Dimension Micro2structure Soft Lithography Technology
LIU Weiting,CAI Qiang,GUO Xishan,CHEN Yuquan,WANGLiren.Three Dimension Micro2structure Soft Lithography Technology[J].Journal of Transduction Technology,2002,15(2):136-139.
Authors:LIU Weiting  CAI Qiang  GUO Xishan  CHEN Yuquan  WANGLiren
Affiliation:Biosensor National Special Lab , Zhejiang University . Hangzhou 310027 P. R. China
Abstract:This paper describes a novel microstructure fabrication technology based on soft lithography, which provides a convenient, effective, and low-cost method for the formation and manufacturing of micro and nanostructure. Also we discuss some key techniques of soft lithography, such as elastmeric stamp, replica molding. At last, the three-dimension micro-capillary and micro-valve is fabricated on the glass using soft lithography method.
Keywords:sotf lithography  replica molding  micro-capillary  micro-ralve  PDMS
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