| 圆形振动膜硅微电容传声器 |
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| 引用本文： | 田静,汪承灏,徐联,乔东海,马军,郝震宏,魏建辉.圆形振动膜硅微电容传声器[J].传感技术学报,2006,19(5):2297-2299. |
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| 作者姓名： | 田静 汪承灏 徐联 乔东海 马军 郝震宏 魏建辉 |
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| 作者单位： | 中国科学院声学研究所,北京,100080 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 硅微传声器是一种用MEMS技术制造的、将声信号转换为电信号的声学传感器.该传声器只需五次光刻工艺即可制作完成,其灵敏度在偏置电压为9V时可达15mV/Pa左右,在100Hz～18kHz的范围内的频率响应也较平坦.
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| 关 键 词： | 声学微电子机械系统 硅微电容传声器 圆型振动膜 |
| 文章编号： | 1004-1699(2006)05-2297-03 |
| 修稿时间： | 2006年7月1日 |
Silicon condenser Microphone with round membranes |
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| TIAN Jing,WANG Cheng-hao,XU Lian,QIAO Dong-hai,MA Jun,HAO Zhen-hong,WEI Jian-hui.Silicon condenser Microphone with round membranes[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):2297-2299. |
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| Authors: | TIAN Jing WANG Cheng-hao XU Lian QIAO Dong-hai MA Jun HAO Zhen-hong WEI Jian-hui |
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| Affiliation: | Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences, Beijing 100080 |
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| Abstract: | Silicon micro-microphone using MEMS technology is a type of micro acoustical sensor to transform sound signal into electric signal. A new type of silicon condenser microphone with round membranes is introduced. The microphone is designed and realized with an only 5 masking process and with a sensitivity of about 15mV/Pa under a bias voltage of 9V. A flat response is obtained in the frequency range of 100Hz~18kHz. |
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| Keywords: | acoustical MEMS silicon condenser microphone round membranes |
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