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射频螺线管微电感的设计和仿真
引用本文:方东明,赵小林,王西宁,周勇.射频螺线管微电感的设计和仿真[J].传感技术学报,2006,19(5):1878-1880.
作者姓名:方东明  赵小林  王西宁  周勇
作者单位:上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家级重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030
基金项目:教育部科学技术研究重点项目,上海市应用材料研究与发展基金
摘    要:为了获得高性能MEMS螺线管微电感,考虑了几何结构参数对微电感性能的影响,用HFSS软件对特定结构的微电感进行仿真,仿真结果与实验研制的测量结果基本相符.测试结果表明微电感在较宽的工作频率范围内具有高Q值,可以应用在无线通讯领域.

关 键 词:螺线管电感  HFSS  品质因素  射频微机电系统
文章编号:1004-1699(2006)05-1878-03
修稿时间:2006年7月1日

The design and simulation of the RF solenoid microinductor
FANG Dong-ming,ZHAO Xiao-lin,WANG Xi-ning and ZHOU Yong.The design and simulation of the RF solenoid microinductor[J].Journal of Transduction Technology,2006,19(5):1878-1880.
Authors:FANG Dong-ming  ZHAO Xiao-lin  WANG Xi-ning and ZHOU Yong
Affiliation:National Key Laboratory of Nano/Micro Fabrication Technology Key Laboratory for Thin Film and Microfabrication of Ministry of Education Research Institute of Micro/Nano Science and Technology, Shanghai Jiao Tong University
Abstract:
Keywords:HFSS
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