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| 溶胶—凝胶法制备SnO2薄膜气敏特性的实验研究 | |
| 引用本文： | 王培英,胡锓.溶胶—凝胶法制备SnO2薄膜气敏特性的实验研究[J].传感技术学报,1997,10(3):7-11. |
| 作者姓名： | 王培英 胡锓 |
| 作者单位： | 华中理工大学固电系!武汉430074 |
| 摘 要： | 本文介绍了，以ＳｎＣｌ．２Ｈ２Ｏ为原材料，用ｓｏｌ－ｇｅｌ技术制备Ｌａ２Ｏ３掺杂的ＳｎＯ２薄膜气敏材料。研究掺杂量、工艺条件、衬底材料对气特性的影响。 |
| 关 键 词： | 气敏特性 掺杂 二氧化锡 半导体薄膜技术 |
The Experimental Study of Gas-Sensing Character of SnO_2 Thin Films Prepared by Sol-gel Processing |
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| Wang Peiying Hu qin Liu Meidong Rao Yunhua Zeng Yike.The Experimental Study of Gas-Sensing Character of SnO_2 Thin Films Prepared by Sol-gel Processing[J].Journal of Transduction Technology,1997,10(3):7-11. | |
| Authors: | Wang Peiying Hu qin Liu Meidong Rao Yunhua Zeng Yike |
| Abstract: | |
| Keywords: | gas-sensitive property sensitivity sol-gel technique additive |
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