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| 微机电系统多场耦合仿真分析 | |
| 引用本文： | 高行山,赵亚博,吕胜利,邓子辰.微机电系统多场耦合仿真分析[J].动力学与控制学报,2004,2(1):70-74. |
| 作者姓名： | 高行山 赵亚博 吕胜利 邓子辰 |
| 作者单位： | 1. 西北工业大学工程力学系,西安,710072;中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080 2. 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室,北京,100080 3. 西北工业大学工程力学系,西安,710072 |
| 基金项目： | 中科院力学研究所LNM资助项目(2003002)．~~ |
| 摘 要： | 在微电子机械系统(MEMS)研究和设计中，微系统数值仿真分析是一个重要研究领域．本文对MEMS中多种能量场耦合问题的各种数值仿真分析方法进行了综合评述．分析了该领域目前的研究现状并指出了其今后的发展方向。 |
| 关 键 词： | 微电子机械系统 能量场耦合 计算机辅助设计 MEMS 建模 仿真分析 有限元 |
| 收稿时间： | 2004/1/11 0:00:00 |
| 修稿时间： | 2004年1月11日 |
On the simulation analysis of mixed-energy domain for mems |
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| Gao Hangshan,Zhao Yapu,Lu Shengli and Deng Zichen.On the simulation analysis of mixed-energy domain for mems[J].Journal of Dynamics and Control,2004,2(1):70-74. | |
| Authors: | Gao Hangshan Zhao Yapu Lu Shengli and Deng Zichen |
| Abstract: | It is very important to develop numerical simulation methods in the research and design of micro-electro-mechanical systems. This paper reviewed the present numerical methods for the multiple energy-domain coupling simulation in MEMS. The status quo and the future research trends of this field were discussed. |
| Keywords: | MEMS mixed-energy domain numerical simulation |
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