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| MEMS国内外发展状况及我国MEMS发展战备的思考 | |
| 引用本文： | 孙立宁,周兆英,等.MEMS国内外发展状况及我国MEMS发展战备的思考[J].机器人技术与应用,2002(2):2-4. |
| 作者姓名： | 孙立宁 周兆英 |
| 作者单位： | 国家“863”计划机器人技术主题专家组 (孙立宁，周兆英)，国家“863”计划机器人技术主题专家组(龚振邦) |
| 摘 要： | 一、前言ＭＥＭＳ(ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙｓｔｅｍｓ,微机电系统 )是多种学科交叉融合具有战略意义的前沿高技术 ,是未来的主导产业之一。ＭＥＭＳ以其微型化的优势 ,在汽车、电子、家电、机电等行业和军事领域有着极为广阔的应用前景。针对国际ＭＥＭＳ发展趋势和未来的产业化前景 ,结合我国社会经济发展的需要和国家竞争前核心技术发展战略 ,国家科技部拟将ＭＥＭＳ确定为“十五”８６３计划重大专项。针对这一形势 ,在前期ＭＥＭＳ发展战略研究的基础上 ,本文将介绍ＭＥＭＳ国内外发展状况 ,探讨我国ＭＥＭＳ… |
| 关 键 词： | 微机电系统 MEMS 集成电路 发展战略 |
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