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| 发展中的RF MEMS开关技术 | |
| 作者单位： | ;1.中北大学电子测试技术重点实验室;2.中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室 |
| 摘 要： | 从驱动方式和机械结构的角度介绍了不同的RF MEMS开关类型,分析了各类MEMS开关的性能及优缺点,分析了MEMS开关在制作和发展中面临的牺牲层技术、封装技术、可靠性问题等关键技术和问题,介绍了MEMS开关的发展现状及其在组件级和系统级的应用,以及对MEMS开关技术的展望。 |
| 关 键 词： | RF MEMS 开关性能 牺牲层 封装 可靠性 |
Development of RF MEMS switch technology |
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