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| 扩散硅压力传感器应力计算建模 | |
| 引用本文： | 李进军,石成英.扩散硅压力传感器应力计算建模[J].传感器世界,2004,10(1):36-38. |
| 作者姓名： | 李进军 石成英 |
| 作者单位： | 西安二炮兵工程学院 |
| 摘 要： | 本文依据弹性力学厚板原理建立扩散硅压力传感器的应力计算模型,根据电桥原理得到应力与其输出电压之间的关系.计算结果与标定值比较,吻合良好. |
| 关 键 词： | 应力计算 扩散硅 压力情感器 扩散硅压力传感器 应力 计算建模 Pressure Sensor Silicon Diffusion Calculation Stress 比较 标定值 结果 关系 输出电压 电桥原理 计算模型 厚板 弹性力学 |
| 文章编号： | 1006-883X(2004)01-0036-03 |
Modeling the Stress Calculation of the Diffusion Silicon Pressure Sensor |
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