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| 干涉光非接触式读出压力传感器 | |
| 引用本文： | 孙以材,高振斌.干涉光非接触式读出压力传感器[J].传感器世界,2000,6(8):10-12,9. |
| 作者姓名： | 孙以材 高振斌 |
| 作者单位： | 河北工业大学，河北工业大学，天津计量研究所 天津 300130，天津 300130，天津300192 |
| 摘 要： | 本文介绍一种新型压力传感器，它有别于压阻型和电容型压力传感器，利用固定玻璃板和对压力敏感的硅弹性之间的Ｆａｂｒｙ－Ｐｅｒｏｔ腔所产生的光线干涉原理制成。这种传感器可避免封装应力及热漂移对信号的影响，因而可在５００～１０００℃的高温下使用。 |
| 关 键 词： | 压力传感器 干涉光 非接触式 |
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