| 几种常见气体传感器的研究进展 |
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| 引用本文： | 李冬梅,黄元庆,张佳平,张鑫,辜克兢.几种常见气体传感器的研究进展[J].传感器世界,2006,12(1):6-11. |
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| 作者姓名： | 李冬梅 黄元庆 张佳平 张鑫 辜克兢 |
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| 作者单位： | 厦门大学机电工程系 |
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| 摘 要： | 气体传感器日渐发展,其应用的范围越来越广,特别是在环境质量检测和工业生产过程安全检测、保障人民的生命安全等方面越加广泛.简要介绍了各种气体传感器的工作原理,并对常见几种有毒性气体(一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫及氮化物)和可燃性气体(氢气、甲烷)的各种类型传感器的研究进展和工作机理以及敏感材料进行了介绍,同时对MEMS工艺制作气体传感器进行了展望.
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| 关 键 词： | 敏感材料 气体传感器 有毒气体 可燃性气体 MEMS技术 气体传感器 研究进展 Gas Sensors Normal 工艺制作 MEMS 敏感材料 工作机理 类型 甲烷 氢气 可燃性气体 氮化物 二氧化硫 二氧化碳 一氧化碳 毒性气体 工作原理 生命安全 人民 |
| 文章编号： | 1006-883X（2006）01-0006-07 |
The Development Of Several Normal Gas Sensors |
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| Li DongMei;Huang YuanQing;Zhang JiaPing;Zhang XinNan;Gu KeJing.The Development Of Several Normal Gas Sensors[J].Sensor World,2006,12(1):6-11. |
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| Authors: | Li DongMei;Huang YuanQing;Zhang JiaPing;Zhang XinNan;Gu KeJing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | sensitive materials gas sensor poisonous gas flammable gas MEMS technology |
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