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| 一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验 | |
| 引用本文： | 张宾,梅涛,马以武,唐力强.一种陶瓷电容式压力传感器的设计和实验[J].传感器世界,2005,11(3):16-19. |
| 作者姓名： | 张宾 梅涛 马以武 唐力强 |
| 摘 要： | 陶瓷电容式压力传感器具有抗腐蚀、耐高温、高精度、高稳定性、无污染和抗过载等优点,在工业中将有广泛用途.但是,其芯片目前国内尚无厂家可以生产.应客户要求,我们对陶瓷电容式压力传感器进行了设计、建模、制作和实验,并使之满足批量生产的需要. |
| 关 键 词： | 陶瓷 电容 压力 传感器 |
| 文章编号： | 1006-883X(2005)03-0016-04 |
The Design And Fabrication Of A Type Of Ceramic Capacity Pressure Sensor |
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