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| 汽车MEMS传感器的应用及发展 | |
| 引用本文： | 吴雄.汽车MEMS传感器的应用及发展[J].传感器世界,2002,8(3):7-10. |
| 作者姓名： | 吴雄 |
| 作者单位： | 成都龙泉89信箱情报室 6l0100 |
| 摘 要： | 本文通过大量的文献资料，评述汽车MEMS（微机电系统）传感器的应用现状及发展趋势，其中重点介绍几种传感器的原理和结构，同时对该领域的产业化也进行了探讨。 |
| 关 键 词： | 汽车传感器 微机电系统 力敏器件 |
Application and Development of Automotive MEMS Sensors |
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