金属氧化物掺杂对TiO2气敏特性的影响 |
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引用本文: | 戴振清,孙以材,潘国峰,李国玉,陈志永,张艳辉,赵建立.金属氧化物掺杂对TiO2气敏特性的影响[J].传感器世界,2003,9(9):10-14. |
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作者姓名: | 戴振清 孙以材 潘国峰 李国玉 陈志永 张艳辉 赵建立 |
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作者单位: | 河北工业大学微电子研究所,河北工业大学微电子研究所 |
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摘 要: | 掺杂金属氧化物可显著提高TiO2的气敏这一特性,正逐渐成为研究的热点。本文综述了掺杂金属氧化物对TiO2气敏特性的主要影响及机理;总结了目前研究中所掺杂的十多种金属氧化物,并就各种掺杂物对TiO2气敏特性的作用进行了具体分析。
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关 键 词: | 金属氧化物 掺杂 TiO2 气敏特性 气敏传感器 |
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