| 利用Matlab计算介质膜反射光谱 |
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| 引用本文： | 周成刚.利用Matlab计算介质膜反射光谱[J].计算机应用与软件,2010,27(10). |
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| 作者姓名： | 周成刚 |
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| 作者单位： | 上海科学院集成电路制造装备研究中心,上海,201203 |
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| 摘 要： | 以基于麦克斯韦方程组和边界条件推导出的菲涅尔公式为原始模型,利用Matlab优化程序,以S1813光刻胶为例说明Matlab在计算介质膜反射光谱中的应用.并结合光刻涂胶实验,利用光纤光谱仪获得实际反射光谱,对该方法进行了验证,实验表明,该方法可以准确计算介质膜的反射光谱,并可通过反射光谱求得膜厚值,简便、可靠、具有实用性.
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| 关 键 词： | 优化计算 反射光谱 菲涅尔公式 |
CALCULATION OF FILM REFLECTION SPECTRA WITH MATLAB |
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| Zhou Chenggang.CALCULATION OF FILM REFLECTION SPECTRA WITH MATLAB[J].Computer Applications and Software,2010,27(10). |
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| Authors: | Zhou Chenggang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Matlab |
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