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| 新型回转法制备超细、高纯氮化硅粉体 | |
| 引用本文： | 吴学坤,石丽颖,张明,李军,丁孝营,卢婷.新型回转法制备超细、高纯氮化硅粉体[J].电子制作．电脑维护与应用,2015(9). |
| 作者姓名： | 吴学坤 石丽颖 张明 李军 丁孝营 卢婷 |
| 作者单位： | 1. 辽宁省日用电器研究所 辽宁沈阳 110036 2. 辽宁省轻工科学研究院 辽宁沈阳 110036 3. 辽宁北方环境保护有限公司 辽宁沈阳 110031 4. 辽宁东奥非金属材料开发有限公司 辽宁沈阳 110017 |
| 摘 要： | 采用自行设计加工的回转氮化设备,以硅粉、高纯氮气、稀释剂为原料,研究了稀释剂种类对回转法制备氮化硅粉体的影响。结果表明:在硅粉中添加α-氮化硅作为稀释剂,加入30%的α-氮化硅作为稀释剂,在1300℃下氮化15h,制备出高质量氮化硅粉体,其中α含量高达94.59%,粉体平均粒径0.39μm。 |
| 关 键 词： | 回转法 氮化硅 粉体 |
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