可调谐激光气体水分传感器设计 |
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引用本文: | 周苑,刘隽,高旭辉,关卫军,权晓伟,陈柏松.可调谐激光气体水分传感器设计[J].测控技术,2023(12):38-42+50. |
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作者姓名: | 周苑 刘隽 高旭辉 关卫军 权晓伟 陈柏松 |
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作者单位: | 1. 陕西省计量科学研究院;2. 国家市场监管重点实验室(计量光学及应用);3. 西安极善思传感科技有限公司;4. 西安电子科技大学 |
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摘 要: | 针对低露点水分测量过程,特别是进行-80~-60℃范围露点测量时,缺少精度高、速度快、稳定性好、成本低的解决方案的问题,设计并实现了一种基于可调谐半导体激光吸收光谱(Tunable Diode Laser Absorption Spectroscopy, TDLAS)的气体水分传感器。该传感器采用1 392 nm可调谐分布式反馈(Distributed Feedbake, DFB)激光器,结合特殊设计的赫里奥特池,在吸收池体积为30 mL的情况下,光程达到了1.5 m。测量过程克服了空气背景干扰、管壁吸附等问题,实现了0.5~2 000μmol/mol的微量水检测,通过分段检测、多点标定的方式,保证了较宽量程范围内的测量准确度。采用氮气作为背景气进行试验,试验结果按露点温度计算,误差优于±0.32℃。该传感器测量重复性符合二级精密露点仪要求,可用于氮气和空气中的水分测量。
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关 键 词: | 气体分析 水分 近红外光谱 可调谐半导体激光吸收光谱 赫里奥特池 |
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