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| 微机械加速度传感器及应用 | |
| 引用本文： | 石庚辰.微机械加速度传感器及应用[J].测控技术,2003,22(3):5-8. |
| 作者姓名： | 石庚辰 |
| 作者单位： | 北京理工大学,机电工程系,北京,100081 |
| 摘 要： | 叙述了各种微机械加速度传感器的工作原理、特点、研究现状及发展趋势。 |
| 关 键 词： | 微机电系统 微加速度传感器 |
| 文章编号： | 1000-8829(2003)03-0005-04 |
| 修稿时间： | 2002年10月9日 |
MEMS Accelerometer and its Applications |
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