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| 微机电系统(MEMS)的应用 | |
| 引用本文： | 徐毓龙,徐玉成.微机电系统(MEMS)的应用[J].测控技术,1999,18(1):13-15. |
| 作者姓名： | 徐毓龙 徐玉成 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学506室,710072 |
| 摘 要： | 简要介绍微机电系统在各个领域的应用. |
| 关 键 词： | 微机电系统 微传感器和微执行器 电子鼻 微机械和微结构 |
| 修稿时间： | 1998-12 |
Applications of Micro-electro-mechanical System |
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| Xu Yulong,Xu Yucheng.Applications of Micro-electro-mechanical System[J].Measurement & Control Technology,1999,18(1):13-15. | |
| Authors: | Xu Yulong Xu Yucheng |
| Abstract: | Applications of micro-electro-mechanical systems in a variety of areas are introduced. |
| Keywords: | MEMS microsensors and microactuators electronic noses " target="_blank">micromachines and microstructures |
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