| 高温薄膜热电偶典型制备工艺研究现状分析 |
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| 引用本文： | 黄漫国,李水敏,张梅菊,梁晓波,张仲恺,田 边.高温薄膜热电偶典型制备工艺研究现状分析[J].测控技术,2022,41(11):42-46. |
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| 作者姓名： | 黄漫国 李水敏 张梅菊 梁晓波 张仲恺 田 边 |
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| 作者单位： | 航空工业北京长城航空测控技术研究所
状态监测特种传感技术航空科技重点实验室;西安交通大学 机械制造系统工程国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 随着航空航天飞行器性能的不断提升,对温度传感器的要求不断提高,不断趋向于更高温度、更快响应、更小体积。薄膜热电偶因具有响应速度快、热接点小、便于集成等优点,非常适用于航空发动机涡轮叶片、燃烧室内壁、高温燃气进出口、高超声速飞行器表面等极端高温环境下的瞬态温度测量。对于薄膜热电偶来说,它的制备工艺显得尤为重要,因此分别从溅射工艺参数和热处理工艺参数两方面对薄膜热电偶的研究现状进行了汇总介绍和分析。
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| 关 键 词： | 温度测量 薄膜热电偶 制备工艺 |
Analysis on Research Status of Typical Preparation Technology of High Temperature Thin-Film Thermocouple |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | temperature measurement thin-film thermocouple preparation process |
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