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| 薄膜应变栅称重传感器的研制 | |
| 引用本文： | 于映,陈抗生.薄膜应变栅称重传感器的研制[J].测控技术,1998,17(5):45-46. |
| 作者姓名： | 于映 陈抗生 |
| 作者单位： | [1]福州大学电子科学与应用物理系 [2]浙江大学信息与电子工程系 |
| 摘 要： | 运用薄膜沉积技术，制作了薄膜应变栅式称重传感器。性能测试表明，由于克服了粘接胶所带来的弊病，该类传感器与贴片式传感器相比具有滞后和蠕变小，稳定性和可靠性高的特点。 |
| 关 键 词： | 薄膜应变栅 称重 传感器 滞后 蠕变 |
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