| 硅微机械谐振式陀螺仪的技术研究 |
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| 引用本文： | 盛平,王寿荣,许宜申.硅微机械谐振式陀螺仪的技术研究[J].测控技术,2006,25(10):10-12. |
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| 作者姓名： | 盛平 王寿荣 许宜申 |
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| 作者单位： | 东南大学,仪器科学与工程系,江苏,南京,210096 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 介绍了硅微机械谐振式陀螺仪的工作原理,设计了一种新型微机械谐振式陀螺,并用有限元方法进行了仿真,制造了一批样机,进行了初步的驱动特性实验.结果表明,该微机械谐振陀螺仪实际驱动模态的谐振频率与仿真值的最大误差小于6%,满足设计要求.
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| 关 键 词： | 陀螺 频率输出 双端音叉谐振器 硅微机械 谐振式 陀螺仪 技术研究 Gyroscope Resonant Silicon 最大误差 谐振频率 驱动模态 机械谐振 结果 特性实验 制造 仿真 有限元方法 设计 工作原理 |
| 文章编号： | 1000-8829（2006）10-0010-03 |
| 收稿时间： | 2006-03-01 |
| 修稿时间： | 2006年3月1日 |
Research on Silicon Micromechanical Resonant Gyroscope |
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| SHENG Ping,WANG Shou-rong,XU Yi-shen.Research on Silicon Micromechanical Resonant Gyroscope[J].Measurement & Control Technology,2006,25(10):10-12. |
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| Authors: | SHENG Ping WANG Shou-rong XU Yi-shen |
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| Abstract: | The operating principle of a silicon micromechanical resonant gyroscope is introduced.A micromechanical resonant gyroscope has been designed,simulated and preliminarily tested.The drive characteristics of the gyroscope at atmospheric pressure are tested and the results indicated that the maximum error between the practical resonant frequencies and the simulative ones is within 6% meeting the design requirements. |
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| Keywords: | gyroscope frequency output double-ended tuning fork resonator |
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