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| 微机械薄膜应力的在线测试结构 | |
| 引用本文： | 刘祖韬,黄庆安,姜岩峰.微机械薄膜应力的在线测试结构[J].测控技术,2002,21(7):6-9. |
| 作者姓名： | 刘祖韬 黄庆安 姜岩峰 |
| 作者单位： | 东南大学微电子中心MEMS教育部重点实验室,江苏南京,210096 |
| 摘 要： | 微机械薄膜应力对MEMS器件有较大的影响，因此应力测量对于工艺监控和MEMS器件设计是必须的。介绍了微机械薄膜应力的在线测试结构与方法，详细分析了各种方法的特点。对于MEMS薄膜应力测试结构设计有一定的参考价值。 |
| 关 键 词： | 微机械薄膜应力 在线测试结构 半导体加工 MEMS器件 微电子技术 |
| 文章编号： | 1000-8829(2002)07-0006-04 |
| 修稿时间： | 2001年11月13日 |
In-Situ Test Structures of Micromachined Thin Films |
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