| MEMS薄膜吸合电压在线测试系统设计 |
| |
| 引用本文： | 李巧萍,李伟华,聂萌,刘祖韬.MEMS薄膜吸合电压在线测试系统设计[J].测控技术,2007,26(1):12-14,20. |
| |
| 作者姓名： | 李巧萍 李伟华 聂萌 刘祖韬 |
| |
| 作者单位： | 东南大学,MEMS教育部重点实验室,江苏,南京,210096 |
| |
| 摘 要： | 为了实现MEMS薄膜材料参数的在线测试,设计了MEMS薄膜吸合电压在线测试系统.该测试系统由测控软件、测试硬件平台与测试微结构构成,能够全自动地快速完成薄膜吸合电压的在线测试,并立即输出薄膜的杨氏模量与残余应力.测试系统最大可测试100 V的吸合电压,测试精度为±1.0 V.最后对由标准牺牲层加工工艺制作的多晶硅双端固支梁进行了测试实验,并给出了测试数据,实验结果表明本测试系统具有高精度、快速测试的优点,适合于工业生产的大批量测试需求.
|
| 关 键 词： | MEMS 在线测试 吸合电压 数据采集 MEMS 薄膜 吸合电压 在线测试 系统设计 Thin Films System 测试需求 大批量 工业生产 快速测试 测试精度 结果 测试实验 测试数据 双端固支梁 多晶硅 工艺制作 加工 牺牲层 |
| 文章编号： | 1000-8829（2007）01-0012-03 |
| 修稿时间： | 2006-01-04 |
Measurement System for In-Situ Extracting Pull-in Voltages of MEMS Thin Films |
| |
| LI Qiao-ping,LI Wei-hua,NIE Meng,LIU Zu-tao.Measurement System for In-Situ Extracting Pull-in Voltages of MEMS Thin Films[J].Measurement & Control Technology,2007,26(1):12-14,20. |
| |
| Authors: | LI Qiao-ping LI Wei-hua NIE Meng LIU Zu-tao |
| |
| Affiliation: | Key Lab of MEMS of Education Ministry, Southeast University, Nanjing 210096, China |
| |
| Abstract: | |
| |
| Keywords: | MEMS in-situ measurement pull-in voltage data acquisition |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
