SPC研究及其在芯片制造工艺中的应用

统计过程控制(SPC)技术是集生产技术与科学管理于一体的现代工艺质量管理技术。在企业生产过程中,SPC是生产过程控制的有效手段和工具。SPC作为一种过程控制方法,运用数理统计概率论的原理,应用统计方法对过程中的各个阶段进行监控,可及时发现生产过程中的异常情况。