| 在线等离子清洗技术的应用 |
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| 引用本文： | 杨明生,赖绍强,赵伟明,余超平,王曼媛.在线等离子清洗技术的应用[J].记录媒体技术,2010(1). |
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| 作者姓名： | 杨明生 赖绍强 赵伟明 余超平 王曼媛 |
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| 作者单位： | 东莞宏威数码机械有限公司; |
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| 摘 要： | 等离子清洗处理能有效清除氧化铟锡(ITO)玻璃表面的有机污染物,活化表面,增加玻璃表面附着力。而在线等离子清洗(in-line plasma cleaning)是在连续生产线的一个密封腔中对ITO玻璃进行的等离子处理,可以避免玻璃基片暴露在大气环境中而造成二次污染。本文主要阐述了等离子清洗在ITO玻璃清洗上发挥的重要作用和一种在OLED行业实现在线等离子清洗的设备。
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| 关 键 词： | 高密度等离子体 物体表面 等离子处理 等离子清洗 功函数 玻璃表面 玻璃基片 清洗技术 大气环境 二次污染 |
A study of in line plasma cleaning technology |
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| Abstract: | Plasma Cleaning can remove the organic contaminant on the surface of ITO glass effectively, and activate glass surface thus enhance the adhesive force.Plasma Cleaning is a technique of processing to the ITO glass in a seal cage on the continuous production line.This can help to prevent the expose of glass in the air(which will generate second contamination).This article elaborates the significant effect of Plasma Cleaning to the ITO glass introduces this kind of cleaning equipment and its application of in ... |
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