| 面向大流量应用的硅微阀致动器优化设计 |
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| 引用本文： | 李勇俊,张胜昌,段飞,邓宁.面向大流量应用的硅微阀致动器优化设计[J].传感器与微系统,2015(9). |
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| 作者姓名： | 李勇俊 张胜昌 段飞 邓宁 |
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| 作者单位： | 1. 清华大学微电子与纳电子学系,北京,100084;2. 盾安人工环境股份有限公司,浙江杭州,310051 |
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| 摘 要： | 设计了一种面向大流量应用的硅微阀流控芯片,基于电热耦合理论对芯片中的V型电热致动器进行了优化设计.通过构建温度分布的优化模型,对硅微阀流控芯片中V型致动器进行了变截面设计,并对优化前后的致动器进行了多物理场模拟.结果表明:与恒定截面V型致动器相比,在致动位移相同的情况下,优化后的致动器所需的最高温升降低了7.14％,且温度和应力分布更为均匀,在保障致动性能的同时提高了热平衡稳定性和结构稳定性.
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| 关 键 词： | 硅微型阀 V型致动器 电热耦合 |
Optimization design of actuator in silicon micro-valve for large flow applications |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | Si micro-valve V-shape micro-actuator electro-thermal coupling |
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