| MEMS技术的现状及发展趋势 |
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| 引用本文： | 李志信,罗小兵,过增元.MEMS技术的现状及发展趋势[J].传感器与微系统,2001,20(9):58-60. |
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| 作者姓名： | 李志信 罗小兵 过增元 |
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| 作者单位： | 清华大学工程力学系 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金;59995550-2; |
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| 摘 要： | 主要介绍了MEMS的研究和应用现状 ,分别从市场和技术的角度分析了MEMS的发展趋势。还根据国内研究现状 ,提出了我国发展MEMS的若干设想
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| 关 键 词： | 微电子机械系统 应用现状 发展趋势 |
| 文章编号： | 1000-9787(2001)09-0058-03 |
| 修稿时间： | 2001年6月12日 |
Present situation and development trend of MEMS technology |
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| LI Zhi xin,LUO Xiao bing,GUO Zeng yuan.Present situation and development trend of MEMS technology[J].Transducer and Microsystem Technology,2001,20(9):58-60. |
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| Authors: | LI Zhi xin LUO Xiao bing GUO Zeng yuan |
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| Abstract: | Research and application status of MEMS are introduced, the development trend is analyzed from the angle of market and technology respectively. Based on the present situation in our country, some ideas about developing MEMS in China are put forward. |
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| Keywords: | micro electromechanical system(MEMS) application status development trend |
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