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微机械加工硅电容式加速度传感器
引用本文:李跃进,杨银堂,朱作云,马晓华,陈锦杜.微机械加工硅电容式加速度传感器[J].传感器与微系统,2001,20(1):57-59.
作者姓名:李跃进  杨银堂  朱作云  马晓华  陈锦杜
作者单位:1. 西安电子科技大学 微电子研究所,
2. 中国航天科技集团公司16所,
摘    要:介绍了硅电容式加速度传感器的工作原理和制作过程。传感器的敏感元件为一个差分电容器 ,它是由活动质量块与两个玻璃极板通过阳极键合形成。活动质量块用标准的双极工艺和各向异性腐蚀工艺制作。该传感器的量程为 2 0 gn,线性度为 10 -4 量级

关 键 词:加速度传感器  悬臂梁  差分电容器  各向异性腐蚀
文章编号:1000-9787(2001)01-0057-03
修稿时间:2000年9月18日

A silicon capacitive acceleration sensor made in micromachining technology
LI Yue-jin,YANG Yin-tang,ZHU Zuo-yun,MA Xiao-hua,CHEN Jin-du.A silicon capacitive acceleration sensor made in micromachining technology[J].Transducer and Microsystem Technology,2001,20(1):57-59.
Authors:LI Yue-jin  YANG Yin-tang  ZHU Zuo-yun  MA Xiao-hua  CHEN Jin-du
Affiliation:LI Yue-jin 1,YANG Yin-tang 1,ZHU Zuo-yun 1,MA Xiao-hua 2,CHEN Jin-du 2
Abstract:The fundamental principle and fabricating process of a silicon capacitive accelerometer are described. The sensing element consists of a differential capacitor which is formed by a movable mass and two electrodes situated on anodically bonded glass plates. The application of a standard bipolar process allows the movable mass to be realized by anisotropic wet etching.The non-linearity of 10-4 magnitude is reached under a range of 20 gn.
Keywords:acceleration sensor  cantilever beam  differential capacitor  anisotropic etching
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