| 电化学腐蚀法制备针尖的试验研究 |
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| 引用本文： | 王明环,朱荻,徐惠宇.电化学腐蚀法制备针尖的试验研究[J].传感器与微系统,2005,24(3):24-26. |
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| 作者姓名： | 王明环 朱荻 徐惠宇 |
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| 作者单位： | 南京航空航天大学,机电学院,江苏,南京,210016 |
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| 摘 要： | 用电化学腐蚀法制备微小尺寸的针尖,在深入分析电化学腐蚀原理的基础上,采用检测电流变化率的方法对腐蚀过程进行控制,使切断时间控制在微秒级以下,并对试验参数(如,电压、电极丝浸入溶液深度、溶液浓度等)对试验结果的影响进行了分析,制作出尺寸在微米级以下的针尖。
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| 关 键 词： | 电化学腐蚀 针尖 电流变化率控制法 针尖质量 |
| 文章编号： | 1000-9787(2005)03-0024-03 |
| 修稿时间： | 2004年9月27日 |
Experimental research on tips preparation using electrochemical etching |
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| WANG Ming-huan,ZHU Di,XU Hui-yu.Experimental research on tips preparation using electrochemical etching[J].Transducer and Microsystem Technology,2005,24(3):24-26. |
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| Authors: | WANG Ming-huan ZHU Di XU Hui-yu |
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| Abstract: | Preparation of small sized tips is obtained using electrochemical dissolution.Based on the understanding of the principle of electrochemical etching,the ratio of current change is detected to control the dissolution process;cutoff time is limited below microsecond.Effects of the applied voltage,immersed depth and electrolyte concentration on the size of tips are discussed.Tips less than micrometer is fabricated. |
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| Keywords: | electrochemical etching tips ratio of current change tips quality |
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