|
|||||
|
|
| 硅基BCB工艺X波段发夹型带通滤波器的实现 | |
| 作者单位： | ;1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所;2.中国科学院大学 |
| 摘 要： | 设计了发夹型微带线带通滤波器,并通过电磁仿真软件高频结构仿真器(HFSS)进行优化。以高阻硅为衬底,以大厚度低损耗因子的苯并环丁烯(BCB)为介质,通过MEMS加工技术制作了中心频率8. 6 GHz、带宽为9%的X波段带通滤波器样品。给出了详细的工艺流程,并就关键步骤进行介绍。给出了仿真结果与测试结果的对比,测试结果与仿真结果基本相符,制得的滤波器具有良好的传输性能,可以满足8. 2～9. 0 GHz频率范围内的通信要求,表明提出的设计方法合理,可实现工程应用。 |
| 关 键 词： | 带通滤波器 发夹型 苯并环丁烯 高频结构仿真器 X波段 |
Realization of X-band hairpin band-pass filter with BCB process based on silicon |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | |