|
|||||
|
|
| Si—MOS湿度传感器在微电子工业和制茶工业在线检测中的应用 | |
| 引用本文： | 骆如枋,严荣华,陆玉萍.Si—MOS湿度传感器在微电子工业和制茶工业在线检测中的应用[J].传感器与微系统,1987(3). |
| 作者姓名： | 骆如枋 严荣华 陆玉萍 |
| 作者单位： | 中国科学院上海冶金研究所 (骆如枋，严荣华)，中国科学院上海冶金研究所(陆玉萍) |
| 摘 要： | <正> 一、Si—MOS湿度传感器及其二次仪表 Si—MOS湿度传感器系上海市“六五”攻关项目,由中科院上海冶金所研制成功。该传感器在本质上是一个以低阻单晶硅衬底和多孔Au膜为上、下电极,以多孔Al_2O_3为湿敏介质的MOS电容结构 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |