| 复合薄膜热导率测试系统研究 |
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| 引用本文： | 吕安新,余隽,唐祯安,冯冲.复合薄膜热导率测试系统研究[J].传感器与微系统,2010,29(12). |
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| 作者姓名： | 吕安新 余隽 唐祯安 冯冲 |
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| 摘 要： | 针对薄膜热物性测量还没有成熟的测试系统,设计了一种基于微桥静态测量法的复合薄膜热导率测试系统.该系统由PC机、仪器控制与数据采集模块、可控温真空系统构成.软件编程在LabVIEW平台上实现.利用该系统测量了由SiO2薄膜和多晶硅薄膜组成的悬臂梁结构的复合薄膜热导率.在10-4Pa真空中,测得悬臂梁平均温度320～400K范围内的等效热导率在9～12w/(m·K),其热导率随着温度升高而增大,测试结果和理论值一致.实验表明:系统测试效率高、通用性好,且易于扩展.
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| 关 键 词： | 微机电系统 薄膜 悬臂梁 热导率测试系统 |
Study on thermal conductivity measurement system for composite thin films |
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| L An-xin,YU Juan,TANG Zhen-an,FENG Chong.Study on thermal conductivity measurement system for composite thin films[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(12). |
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| Authors: | L An-xin YU Juan TANG Zhen-an FENG Chong |
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| Affiliation: | L(U) An-xin,YU Juan,TANG Zhen-an,FENG Chong |
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