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硅微角振动陀螺仪温度特性补偿方法研究
引用本文:余磊,徐大诚,郭述文.硅微角振动陀螺仪温度特性补偿方法研究[J].传感器与微系统,2015(11):26-29.
作者姓名:余磊  徐大诚  郭述文
作者单位:苏州大学微纳传感技术研究中心,江苏苏州,215100
基金项目:国家自然科学基金重点项目
摘    要:在研究硅微角振动陀螺结构和温度特性的基础上,创建了二元高阶多项式补偿模型,并设计了基于STM32F405的硬件补偿电路,实现该陀螺仪实时温度补偿.实验结果表明:温度补偿后的标度因数温度系数和全温零偏稳定性分别由344 ×10-6/℃和441°/h减小为12.6×10-6/℃和40.6°/h,使得该陀螺仪的温度特性有明显改善,验证了该补偿方法的有效性和可行性.

关 键 词:硅微角振动陀螺仪  温度补偿  标度因数温度系数  全温零偏稳定性

Research on compensation method of temperature characteristics for silicon micro angular vibration gyroscope
Abstract:
Keywords:silicon micro angular vibration gyroscope  temperature compensation  temperature coefficients of scale factor  stability of full-temperature zero bias
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