| 微机械电容式压力传感器的变换电路 |
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| 引用本文： | 沈月婷,牛德芳,仲崇权.微机械电容式压力传感器的变换电路[J].传感器与微系统,2001,20(3):45-47. |
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| 作者姓名： | 沈月婷 牛德芳 仲崇权 |
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| 作者单位： | 大连理工大学 电子与信息工程学院, |
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| 基金项目： | 国家“九五”重点科技攻关项目（96-748-02-01/10） |
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| 摘 要： | 在介绍一种新型微机械差动电容式压力传感器的基础上 ,重点介绍一种为其配套的电容—电压变换电路。并以实验结果反映其电路的优点
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| 关 键 词： | 微机械 差动电容 电容电压 变换电路 |
| 文章编号： | 1000-9787(2001)03-0045-03 |
| 修稿时间： | 2000年11月21 |
Converting circuit for micromechanical differential capacitive pressure sensors |
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| SHEN Yue-ting,NIU De-fang,ZHONG Chong-quan.Converting circuit for micromechanical differential capacitive pressure sensors[J].Transducer and Microsystem Technology,2001,20(3):45-47. |
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| Authors: | SHEN Yue-ting NIU De-fang ZHONG Chong-quan |
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| Abstract: | A kind of capacitance to voltage converting circuit designed for a new-type micromechanical differential capacitive pressure sensor is described in detail on the basis of introducing the new-type pressure sensor.The experimental data have been shown to testify the advantage of the circuit. |
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| Keywords: | micromechanical differential capacitance capacitive voltage converting circuit |
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