| 基于微悬臂梁传感器的微弱风力检测系统设计 |
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| 引用本文： | 张飞,薛长国,唐毓,张涛,胡业林.基于微悬臂梁传感器的微弱风力检测系统设计[J].传感器与微系统,2018(7):73-74,77. |
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| 作者姓名： | 张飞 薛长国 唐毓 张涛 胡业林 |
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| 作者单位： | 安徽理工大学煤矿电气自动化研究所,安徽淮南,232001
安徽理工大学煤矿电气自动化研究所,安徽淮南232001;安徽理工大学材料科学与工程学院,安徽淮南232001
安徽理工大学材料科学与工程学院,安徽淮南,232001 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(11472006)，安徽省杰出青年科学基金资助项目(1808085J30) |
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| 摘 要： | 针对现有技术对微弱风力检测困难的问题,搭建基于微悬臂梁传感技术的微弱风力检测系统并实现微弱风力检测.传感器平台使用光纤耦合激光器作为光源,对微悬臂梁自由端进行照射.由微弱风力导致的微梁自由端的微小位移经过光杠杆原理放大,通过四象限探测器感光表面上的光斑相对位置实现对微弱风力的检测.利用编写的LabVIEW程序进行数据采集控制,并实时显示微悬臂梁偏转位移曲线.实验结果表明:微悬臂梁的偏转位移和风力具有较好的线性关系,系统3倍噪声对应的风力约为1.5×10-4N,风力检测结果的平均标准差为6.7 ×10-9N,实验数据具有较高重复性.
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| 关 键 词： | 微悬臂梁 风力 光杠杆 LabVIEW |
Design of weak wind force detecting system based on microcantilever sensor |
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| ZHANG Fei,XUE Chang-guo,TANG Yu,ZHANG Tao,HU Ye-lin.Design of weak wind force detecting system based on microcantilever sensor[J].Transducer and Microsystem Technology,2018(7):73-74,77. |
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| Authors: | ZHANG Fei XUE Chang-guo TANG Yu ZHANG Tao HU Ye-lin |
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