| MEA优化的BPNN MEMS加速度计温度补偿系统 |
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| 引用本文： | 庞作超,徐大诚,郭述文.MEA优化的BPNN MEMS加速度计温度补偿系统[J].传感器与微系统,2018(8):97-99,103. |
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| 作者姓名： | 庞作超 徐大诚 郭述文 |
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| 作者单位： | 苏州大学微纳传感技术研究中心,江苏苏州,215006 |
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| 基金项目： | 国家科技支撑计划资助项目(2015BAF16B01)，装备预研基金资助项目(9140A09032015) |
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| 摘 要： | 在充分研究单轴硅微扭摆式电容加速度计结构原理和温度特性的基础上,利用思维进化算法(MEA)优化反向传播神经网络(BPNN)参数构建微机电系统(MEMS)加速度计的温度补偿模型,通过温度实验,计算出温度模型参数,进而实现实时温度补偿.实验结果表明:使用MEA优化的BPNN算法补偿后加速度计的非线性由1576×10-6减小为266×10-6,标度因数温度系数由438×10-6/℃减小为78×10-6/℃,全温零偏极差由58.8 mgn减小为2.7 mgn,加速度计的温度特性大幅提高,证明所提温度补偿算法的有效性.
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| 关 键 词： | 微机电系统加速度计 思维进化算法 反向传播神经网络 温度补偿 |
Temperature compensation system of MEMS accelerometer based on BPNN optimized by MEA |
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| PANG Zuo-chao,XU Da-cheng,GUO Shu-wen.Temperature compensation system of MEMS accelerometer based on BPNN optimized by MEA[J].Transducer and Microsystem Technology,2018(8):97-99,103. |
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| Authors: | PANG Zuo-chao XU Da-cheng GUO Shu-wen |
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