| MEMS加速度计噪声分析与降噪方法研究 |
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| 引用本文： | 杜少林,陈书钊,陈鹏光,田亚芳,陈剑鸣.MEMS加速度计噪声分析与降噪方法研究[J].传感器与微系统,2018(7):45-48,55. |
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| 作者姓名： | 杜少林 陈书钊 陈鹏光 田亚芳 陈剑鸣 |
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| 作者单位： | 昆明理工大学理学院,云南昆明,650504 |
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| 基金项目： | 昆明理工大学计算物理与应用科技创新团队资助项目(KKGA201607014) |
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| 摘 要： | 针对微机电系统(MEMS)加速度计的随机噪声对输出信号干扰的情况,提出了对加速度计噪声源及噪声类型进行辨识、估计与建模,并确定误差补偿的降噪方法,以提高加速度计精度.采用Allan方差分析法对MEMS加速度计的随机噪声进行分析,得到了影响MEMS加速度计性能的几种主要随机噪声,使用自回归滑动平均模型(ARMA)对加速度计输出数据进行数学建模,以最终预测误差(FPE)准则确定使用的模型与阶次.设计了Kalman滤波算法,对加速度计进行降噪,通过Allan方差方法对Kalman算法滤波效果进行分析.实验结果表明:Kalman滤波能有效降低加速度计的随机噪声.
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| 关 键 词： | 微机械加速度计 随机噪声 Allan方差 自回归滑动平均模型 Kalman滤波 |
Research on noise analysis and noise reduction method of MEMS accelerometer |
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| DU Shao-lin,CHEN Shu-zhao,CHEN Peng-guang,TIAN Ya-fang,CHEN Jian-ming.Research on noise analysis and noise reduction method of MEMS accelerometer[J].Transducer and Microsystem Technology,2018(7):45-48,55. |
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| Authors: | DU Shao-lin CHEN Shu-zhao CHEN Peng-guang TIAN Ya-fang CHEN Jian-ming |
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