| 半导体气体传感器敏感机理的研究进展 |
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| 引用本文： | 徐甲强,韩建军,孙雨安,谢冰.半导体气体传感器敏感机理的研究进展[J].传感器与微系统,2006,25(11):5-8. |
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| 作者姓名： | 徐甲强 韩建军 孙雨安 谢冰 |
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| 作者单位： | 郑州轻工业学院,材料与化学工程学院,河南,郑州,450002 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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河南省杰出青年科学基金 |
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| 摘 要： | 为了改进半导体气体传感器的选择性,研究人员利用四极质谱仪、气相色谱、阻抗测试、XPS等检测手段对半导体气体传感器的乙醇、硫化氢、氯气、一氧化碳、氢气、含氮化合物和有机烷烃等常见检测气体的敏感机理进行了研究,取得了一些进展。对研究所得结论和理论模型进行了概述,并提出了今后的研究方向。
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| 关 键 词： | 气体传感器 敏感机理 可燃气体 毒害性气体 |
| 文章编号： | 1000-9787（2006）11-0005-04 |
| 收稿时间： | 2006-06-02 |
| 修稿时间： | 2006年6月2日 |
The progress in sensing mechanism of semiconductor gas sensors |
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| XU Jia-qiang,HAN Jian-jun,SUN Yu-an,XIE Bing.The progress in sensing mechanism of semiconductor gas sensors[J].Transducer and Microsystem Technology,2006,25(11):5-8. |
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| Authors: | XU Jia-qiang HAN Jian-jun SUN Yu-an XIE Bing |
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| Affiliation: | College of Materials and Chemical Engineering, Zhengzhong University of Light Industry, Zhengzhou 450002, China |
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| Abstract: | To improve gas selectivity of semiconductor gas sensors, the researchers studied the gas sensing mechanism of C2H3OH, H2S, Cl2, CO, H2, NOx and CH4 by means of quadrupole mass spectrometer, gas chromatography, impedance testing,XPS and so on, some important conclusions are gained. The sensing mechanism and theory models of semiconductor gas sensors are introduced, and investigation directions of sensing mechanism in the future are suggested in the end. |
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| Keywords: | gas sensor sensing mechanism combustible gas toxic gas |
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