| 基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究 |
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| 引用本文： | 周然,陈迪,黄闯,陈翔,刘景全,朱军.基于柔性衬底的三维生物刺激微电极阵列研究[J].传感器与微系统,2010,29(5). |
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| 作者姓名： | 周然 陈迪 黄闯 陈翔 刘景全 朱军 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微米/纳米加工技术国家级重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240 |
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| 摘 要： | 设计了一种基于聚酰亚胺薄膜的三维生物刺激微电极阵列,用于植入式人造视网膜应用.采用非硅MEMS技术,在柔性衬底上制备出具有生物相容性和化学稳定性,电极高度为80 μm的生物刺激电极阵列,通过PDMS牺牲层实现器件从基底的完整释放.实验中器件以聚酰亚胺和PDMS封装,电极柱和焊盘均镀金,从而提高电极的生物相容性.采用三电极法对微电极进行了电化学性能测试,在10-1～105Hz频率范围内,其阻抗为1.5～0.3 kΩ.制造出的器件尺寸小,质量轻,可靠性高,机械柔性好,符合生物电刺激要求.
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| 关 键 词： | 生物电极 视觉假体 MEMS技术 |
Study on 3D bio-stimulating microelectrode array based on flexible substrate |
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| ZHOU Ran,CHEN Di,HUANG Chuang,CHEN Xiang,LIU Jing-quan,ZHU Jun.Study on 3D bio-stimulating microelectrode array based on flexible substrate[J].Transducer and Microsystem Technology,2010,29(5). |
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| Authors: | ZHOU Ran CHEN Di HUANG Chuang CHEN Xiang LIU Jing-quan ZHU Jun |
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